산화갈륨(Ga2O3) gallium oxide

키워드 · 정보·전자소자

74학부 논문 (이 키워드 10 + 하위 키워드)

2교수

490억 국가 R&D(2015–24)

신규증가율

1.30%서울대 비중

초광대역 밴드갭 산화물 반도체로, 고전압 전력소자와 태양광 차단 자외선 검출기에 쓰인다.

하위 키워드

이 키워드를 포함하는 더 구체적인 키워드. 위 논문 수·교수·연도별 그래프는 이들을 합친 값이다.

베타 산화갈륨(β-Ga2O3) 58 알파 산화갈륨(α-Ga2O3) 6

연도별 학부 논문

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국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)

15161718192021222324

2015–2024 과제 레코드 180건 · 10년 490억 · 2015–19 대비 2020–24 신규 · 대학 수행 22.3% · 서울대(본교) 1.30%. 매칭: 영문 키워드 'gallium oxide', 국문 '산화갈륨', 'Ga2O3'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.

매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 전기/전자 > 반도체 소자·회로 58% · 재료 > 세라믹재료 24% · 전기/전자 > 계측기기 5% · 기계 > 정밀생산기계 4%

최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)

연도	과제	수행기관	부처	억
2023	저결함(＜1x104cm-2)특성의 고품위 Ga2O3 에피소재 및 1KV 이상의 항복전압을 가지는 전력소자 기술 개발	(주)유제이엘	산업통상자원부	14.7
2022	2.5 kV급 고효율 초소형 산화갈륨 전력반도체 소자 기술 개발	한국전자통신연구원	과학기술정보통신부	13.2
2024	자연광 환경에서 고신뢰성을 갖는 아크 감지용 초고감도 DUV 센서 개발	파워큐브세미(주)	산업통상자원부	12.2
2023	1.2kV급 산화갈륨 전력반도체 소자 기술개발	파워큐브세미(주)	산업통상자원부	10.8
2023	극한환경용 산화갈륨 자외선 센서 기술 개발	한국항공대학	산업통상자원부	8.8
2022	4인치급 고품질 산화갈륨 단결정 성장 기술 개발	한국세라믹기술원	과학기술정보통신부	8.5
2022	6인치급 산화갈륨 단결정 성장용 EFG 장비 및 핫존 설계 최적화 기술개발	(주)악셀	과학기술정보통신부	8.2
2023	1.2kV급 저손실 산화갈륨 트랜지스터 개발	파워큐브세미(주)	산업통상자원부	7.5

교수

교수	연구분야	논문	2022년 이후
김지현	공정시스템	73	19
이원보	공정시스템 · 고분자 및 유기 소재	1	0

함께 나오는 키워드

와이드밴드갭 반도체 전력전자 전자 주입 솔라블라인드 광검출기 깊은 준위 트랩 리튬 덴드라이트 리튬-황 전지 폴리설파이드 셔틀

연결되는 NTIS 분류

나노 화학공정기술 2 전기화학 1

논문 (최신순)

연도	논문	학부 저자	피인용
2026	Optimized HZO/Al2O3 gate stack enables thermally stable β-Ga2O3 ferroelectric field-effect transistors with an enhanced memory window Device	김지현	0
2026	Forward Metal-Assisted Chemical Etching for Self-Aligned Gate-Recess Enhancement-Mode β-Ga2O3 Metal−Semiconductor Field-Effect Transistors ACS Materials Letters	김지현	0
2025	Self-Powered Ultraviolet-C Imaging Using Epitaxial Gallium Oxide Membranes with Anisotropic Domain Conduction ACS Nano	김지현	12
2025	WSe2/β-Ga2O3 p–n Heterojunction-Based Normally Off Phototransistors for Self-Powered UV-C Detection ACS Photonics	김지현	10
2025	Defining the relative proton irradiation hardness of β-Ga2O3 Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films	김지현	3
2025	Achieving Face-Selective Ohmic Contact to β-Ga 2 O 3 via Anisotropic Trench Structure ACS Applied Electronic Materials	김지현	2
2024	Giant Colloidal Quantum Dot/α-Ga2O3 Heterojunction for High Performance UV–Vis–IR Broadband Photodetector 나노 화학공정기술 › 나노소재 가공기술 ACS Nano	김지현	35
2024	A high-breakdown-voltage β-Ga 2 O 3 nanoFET with a beveled field-plate structure Journal of Materials Chemistry C	김지현	10
2024	Enhancement of heat dissipation in β-Ga 2 O 3 Schottky diodes through Cu-filled thermal vias: experimental and simulation investigations Journal of Materials Chemistry C	김지현	2
2023	2D Amorphous GaOX Gate Dielectric for β-Ga2O3 Field-Effect Transistors ACS Applied Materials & Interfaces	김지현	28
2023	15 MeV proton damage in NiO/β-Ga2O3vertical rectifiers Journal of Physics Materials	김지현	18
2023	Plasma Nitridation Effect on β-Ga2O3 Semiconductors Nanomaterials	김지현	12
2023	Comparison of 10 MeV Neutron Irradiation Effects on NiO/Ga2O3 Heterojunction Rectifiers and Ni/Au/Ga2O3 Schottky Rectifiers ECS Journal of Solid State Science and Technology	김지현	7
2023	Photo-enhanced metal-assisted chemical etching of α-gallium oxide grown by halide vapor-phase epitaxy on a sapphire substrate and its applications Materials Advances	김지현	5
2022	Deep level defect states in β-, α-, and ɛ -Ga2O3 crystals and films: Impact on device performance Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films	김지현	115
2022	H trapping at the metastable cation vacancy in α-Ga2O3 and α-Al2O3 Applied Physics Letters	김지현	18
2022	Exfoliated and bulk β-gallium oxide electronic and photonic devices Science Talks	김지현	12
2022	β-Ga 2 O 3 heterojunction field-effect transistors prepared via UV laser-assisted p-doping of two-dimensional WSe 2 Journal of Materials Chemistry C	김지현	11
2022	Type II band alignment of NiO/α-Ga2O3 for annealing temperatures up to 600 °C Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films	김지현	5
2021	High responsivity solar-blind metal-semiconductor-metal photodetector based on α-Ga2O3 Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films	김지현	50
2021	Self-powered solar-blind α-Ga2O3 thin-film UV-C photodiode grown by halide vapor-phase epitaxy APL Materials	김지현	43
2021	Magneto-optical properties of Cr3+ in β-Ga2O3 Applied Physics Letters	김지현	31
2021	Long-life lithium–sulfur battery enabled by a multifunctional gallium oxide shield 전기화학 › 에너지 변환/저장 전기화학 Chemical Engineering Journal	이원보	20
2021	1 GeV proton damage in β-Ga2O3 Journal of Applied Physics	김지현	18
2021	Large-scale synthesis of atomically thin ultrawide bandgap β-Ga2O3 using a liquid gallium squeezing technique Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films	김지현	14
2021	Effects of Downstream Plasma Exposure on β -Ga 2 O 3 Rectifiers ECS Journal of Solid State Science and Technology	김지현	8
2021	(100) Plane β -Ga 2 O 3 Flake Based Field Effect Transistor and Its Hydrogen Response ECS Journal of Solid State Science and Technology	김지현	7
2021	Capacitive β-Ga2O3 solar-blind photodetector with graphene electrode 나노 화학공정기술 › 나노소재 가공기술 Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films	김지현	4
2020	Highly selective ozone-treated β -Ga2O3 solar-blind deep-UV photodetectors Applied Physics Letters	김지현	62
2020	Ultrawide-Bandgap p-n Heterojunction of Diamond/β-Ga2O3 for a Solar-Blind Photodiode ECS Journal of Solid State Science and Technology	김지현	58
2020	Photoelectrochemical etching of ultra-wide bandgap β-Ga2O3 semiconductor in phosphoric acid and its optoelectronic device application Applied Surface Science	김지현	34
2020	Dual-field plated β-Ga 2 O 3 nano-FETs with an off-state breakdown voltage exceeding 400 V Journal of Materials Chemistry C	김지현	21
2020	Ultra-Wide Bandgap β -Ga 2 O 3 Heterojunction Field-Effect Transistor Using p-Type 4H-SiC Gate for Efficient Thermal Management ECS Journal of Solid State Science and Technology	김지현	19
2020	BCl3-Based Dry Etching of Exfoliated (100) ß-Ga2O3 Flakes ECS Journal of Solid State Science and Technology	김지현	7
2020	Preface—JSS Focus Issue on Gallium Oxide Based Materials and Devices II ECS Journal of Solid State Science and Technology	김지현	2
2019	Ultrahigh Deep-UV Sensitivity in Graphene-Gated β-Ga2O3 Phototransistors ACS Photonics	김지현	131
2019	Field-plate engineering for high breakdown voltage β-Ga 2 O 3 nanolayer field-effect transistors RSC Advances	김지현	39
2019	Defect States Determining Dynamic Trapping-Detrapping in β-Ga 2 O 3 Field-Effect Transistors ECS Journal of Solid State Science and Technology	김지현	36
2019	Controlling the threshold voltage of β-Ga 2 O 3 field-effect transistors via remote fluorine plasma treatment Journal of Materials Chemistry C	김지현	32
2019	60Co Gamma Ray Damage in Homoepitaxial β-Ga2O3Schottky Rectifiers ECS Journal of Solid State Science and Technology	김지현	29

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교수 1

김지현

논문 10

Long-life lithium–sulfur battery enabled by a multifunctional gallium · Perspective—Opportunities and Future Directions for Ga2O3 · Optical Signature of the Electron Injection in Ga2O3 · A review of Ga2O3 materials, processing, and devices · Deep level defect states in β-, α-, and ɛ -Ga2O3 crystals and films: I · Will surface effects dominate in quasi-two-dimensional gallium oxide f · Perspective: Ga2O3 for ultra-high power rectifiers and MOSFETS · Radiation damage effects in Ga 2 O 3 materials and devices · Preface—JSS Focus Issue on Gallium Oxide Based Materials and Devices · Preface—JSS Focus Issue on Gallium Oxide Based Materials and Devices I