산화물 박막트랜지스터 oxide thin-film transistor

키워드 · 정보·전자소자

26학부 논문 (이 키워드 16 + 하위 키워드)

1교수

1,325억 국가 R&D(2015–24)

+170%증가율

3.21%서울대 비중

IGZO 등 금속산화물 반도체를 채널로 쓰는 박막트랜지스터로, 용액 공정으로 대면적 제작한다.

하위 키워드

이 키워드를 포함하는 더 구체적인 키워드. 위 논문 수·교수·연도별 그래프는 이들을 합친 값이다.

IGZO 박막트랜지스터 7 산화아연 박막트랜지스터(ZnO TFT) 3

연도별 학부 논문

14151617181920212223242526

국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)

15161718192021222324

2015–2024 과제 레코드 588건 · 10년 1,325억 · 2015–19 대비 2020–24 +170% · 대학 수행 38.7% · 서울대(본교) 3.21%. 매칭: 영문 키워드 'oxide thin film transistor', 국문 '산화물박막트랜지스터', '산화물TFT', '산화물반도체'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.

매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 전기/전자 > 디스플레이 38% · 전기/전자 > 반도체 소자·회로 19% · 전기/전자 > 반도체장비 10% · 재료 > 세라믹재료 8%

최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)

연도	과제	수행기관	부처	억
2022	금속 산화막 채널을 이용한 차세대 트랜지스터 제조용 고성능 ALD 장비 개발	주성엔지니어링(주)	산업통상자원부	33.5
2024	OLED 디스플레이용 산화물 TFT 절연막 패턴 형성을 위한 150이하의 저온난화지수를 지니는 F 기반 PFC 대체가스 개발	한국전자기술연구원	산업통상자원부	24.8
2024	240Hz 이상의 재생률과 85mW 이하의 저전력 영상 구현 마이크로LED 모듈형 Seamless 디스플레이를 위한 산화물 박막 트랜지스터 백플레인 핵심기술개발	한국전자통신연구원	산업통상자원부	16.2
2022	모바일 AMOLED용 저저항배선기반 단채널 산화물 TFT 어레이 기술개발	삼성디스플레이(주)	산업통상자원부	15.4
2023	8세대급 대면적 증착이 가능한 이동도 30cm2Vs 이상의 Ga free 산화물 TFT 소재 개발	엘티메탈(주)	산업통상자원부	15.3
2024	고휘도 마이크로 LED 디스플레이용 유연 산화물 TFT 백플레인과 틈새없이 타일링 조립을 위한 소재 및 공정 기술 개발	실리콘디스플레이(주)	산업통상자원부	14.1
2022	8세대 IGZO계 산화물 원자층 증착 장비 및 고이동도 박막트랜지스터 기술 개발	에이피시스템(주)	산업통상자원부	14.0
2022	광열안정성 확보를 위한 용액형 산화물 TFT 반도체층의 저온 성막 기술 및 열처리 장비용 핵심 기술 개발	(주)비아트론	산업통상자원부	13.2

교수

교수	연구분야	논문	2022년 이후
김연상	무기 및 전기전자 소재 · 고분자 및 유기 소재	26	5

함께 나오는 키워드

용액공정 산화물 반도체 산화알루미늄 게이트 절연막 대기압 플라즈마 처리 일함수 조절 고분자 게이트 절연막 양이온 교환 산화아연 박막

연결되는 NTIS 분류

나노 화학공정기술 5 고분자 공정기술 1

논문 (최신순)

연도	논문	학부 저자	피인용
2025	Simultaneous Improvement of Multiple Electrical Characteristics in Ultrathin a-IGZO TFTs Using Machine Learning Optimization ACS Applied Materials & Interfaces	김연상	4
2025	In‐Cycle Helium Plasma Integrated Atomic Layer Deposition Process for Screening Effect Alleviation and Performance Enhancement in a‐IGZO TFTs Advanced Functional Materials	김연상	2
2024	Machine Learning Strategy for Optimizing Multiple Electrical Characteristics in Dual-Layer Oxide Thin Film Transistors ACS Applied Materials & Interfaces	김연상	6
2023	Machine Learning Driven Channel Thickness Optimization in Dual‐Layer Oxide Thin‐Film Transistors for Advanced Electrical Performance 나노 화학공정기술 Advanced Science	김연상	16
2022	Indium and Tin Doping of Zinc Oxide Film by Cation Exchange and its Application to Low‐Temperature Thin‐Film Transistors 고분자 공정기술 › 고분자 박막/코팅 제조기술 Advanced Materials Interfaces	김연상	6
2021	Analysis of Interface Phenomena for High-Performance Dual-Stacked Oxide Thin-Film Transistors via Equivalent Circuit Modeling 나노 화학공정기술 ACS Applied Materials & Interfaces	김연상	20
2021	Conductive Polymer-Assisted Metal Oxide Hybrid Semiconductors for High-Performance Thin-Film Transistors 나노 화학공정기술 ACS Applied Materials & Interfaces	김연상	18
2020	Oxygen Radical Control via Atmospheric Pressure Plasma Treatment for Highly Stable IGZO Thin-Film Transistors 나노 화학공정기술 IEEE Transactions on Electron Devices	김연상	28
2020	The effect of surface energy characterized functional groups of self-assembled monolayers for enhancing the electrical stability of oxide semiconductor thin film transistors 나노 화학공정기술 Nanotechnology	김연상	12
2019	Reducing the Persistent Photoconductivity Effect in Zinc Oxide by Sequential Surface Ultraviolet Ozone and Annealing Treatments ACS Applied Electronic Materials	김연상	45
2019	Solution-Grown Homojunction Oxide Thin-Film Transistors ACS Applied Materials & Interfaces	김연상	24
2019	Surface-Functionalized Interfacial Self-Assembled Monolayers as Copper Electrode Diffusion Barriers for Oxide Semiconductor Thin-Film Transistor ACS Applied Electronic Materials	김연상	23
2019	Atmospheric-pressure plasma treatment toward high-quality solution-processed aluminum oxide gate dielectric films in thin-film transistors Nanotechnology	김연상	13
2019	Mobility boost up of hybrid TFT with solvent-free cross-linked polyurethane-ionic liquid gate dielectric Applied Physics Express	김연상	10
2019	Superconcentrated aqueous electrolyte and UV curable polymer composite as gate dielectric for high-performance oxide semiconductor thin-film transistors Applied Physics Letters	김연상	7
2019	Densification process and mechanism of solution-processed amorphous indium zinc oxide thin films for high-performance thin film transistors Applied Physics Express	김연상	4
2018	Effective Atmospheric-Pressure Plasma Treatment toward High-Performance Solution-Processed Oxide Thin-Film Transistors ACS Applied Materials & Interfaces	김연상	47
2018	Effects of Unusual Gate Current on the Electrical Properties of Oxide Thin-Film Transistors Scientific Reports	김연상	24
2018	Effects of process variables on aqueous-based AlOx insulators for high-performance solution-processed oxide thin-film transistors Journal of Industrial and Engineering Chemistry	김연상	11
2017	A systematic study on effects of precursors and solvents for optimization of solution-processed oxide semiconductor thin-film transistors Journal of Materials Chemistry C	김연상	49
2016	Strong Influence of Humidity on Low-Temperature Thin-Film Fabrication via Metal Aqua Complex for High Performance Oxide Semiconductor Thin-Film Transistors ACS Applied Materials & Interfaces	김연상	29
2016	Fully Solution-Processed and Foldable Metal-Oxide Thin-Film Transistor ACS Applied Materials & Interfaces	김연상	28
2015	Effective work function modulation of SWCNT–AZO NP hybrid electrodes in fully solution-processed flexible metal-oxide thin film transistors Journal of Materials Chemistry C	김연상	13
2015	Effects of Li doping on the negative bias stress stability of solution-processed ZnO thin film transistors RSC Advances	김연상	5
2014	Gate Capacitance‐Dependent Field‐Effect Mobility in Solution‐Processed Oxide Semiconductor Thin‐Film Transistors Advanced Functional Materials	김연상	98
2014	Aqueous zinc ammine complex for solution-processed ZnO semiconductors in thin film transistors RSC Advances	김연상	32

인접 그래프

노드 hover = 이웃 강조 · 1회 클릭 = 고정 · 고정된 노드 다시 클릭 = 페이지 이동

이 문서와 연결된 페이지

교수 1

김연상

논문 16

Indium and Tin Doping of Zinc Oxide Film by Cation Exchange and its Ap · Machine Learning Driven Channel Thickness Optimization in Dual‐Layer O · Atmospheric-pressure plasma treatment toward high-quality solution-pro · Effective Atmospheric-Pressure Plasma Treatment toward High-Performanc · Machine Learning Strategy for Optimizing Multiple Electrical Character · Conductive Polymer-Assisted Metal Oxide Hybrid Semiconductors for High · A systematic study on effects of precursors and solvents for optimizat · Superconcentrated aqueous electrolyte and UV curable polymer composite · Effective work function modulation of SWCNT–AZO NP hybrid electrodes i · Effects of process variables on aqueous-based AlOx insulators for high · Solution-Grown Homojunction Oxide Thin-Film Transistors · Densification process and mechanism of solution-processed amorphous in · Gate Capacitance‐Dependent Field‐Effect Mobility in Solution‐Processed · Fully Solution-Processed and Foldable Metal-Oxide Thin-Film Transistor · Effects of Unusual Gate Current on the Electrical Properties of Oxide · Strong Influence of Humidity on Low-Temperature Thin-Film Fabrication