대기압 플라즈마 처리 atmospheric-pressure plasma treatment
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진공 없이 대기압 플라즈마로 박막 표면과 결함을 개질해 산화물 트랜지스터 특성을 개선하는 공정이다.
연도별 학부 논문
국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)
2015–2024 과제 레코드 187건 · 10년 275억 · 2015–19 대비 2020–24 +61% · 대학 수행 52.2% · 서울대(본교) 0.29%. 매칭: 영문 키워드 'atmospheric pressure plasma treatment', 국문 '대기압플라즈마'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.
매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 물리학 > 유체·플라즈마물리 33% · 에너지/자원 > 신재생에너지 24% · 농림수산식품 > 농업·식품 기계·설비 5% · 전기/전자 > 디스플레이 4%
최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)
| 연도 | 과제 | 수행기관 | 부처 | 억 |
|---|---|---|---|---|
| 2023 | 대면적 고효율 p-PERC 셀 양산성 검증 | 와이아이테크(주) | 산업통상자원부 | 13.6 |
| 2022 | 플라즈마바이오과학연구소 | 광운대학 | 교육부 | 7.7 |
| 2022 | 저온 대기압 플라즈마 기반의 과일 및 채소용 살균터널 개발 | (주)삼도환경 | 다부처 | 5.5 |
| 2023 | 대기압 플라즈마를 이용한 리튬이온 배터리 동박 전처리 장비 개발 | 나노인텍(주) | 과학기술정보통신부 | 3.5 |
| 2024 | 서브테라헤르츠파대역 초고차모드 공진기를 이용한 마이크로플라즈마 생성 실험 연구 | 울산과학기술원 | 과학기술정보통신부 | 2.5 |
| 2023 | 이기종 소재 접합 기술을 활용한 대기압 플라즈마 용사코팅장비 개발 | (주)엘림 | 중소벤처기업부 | 2.1 |
| 2022 | 펄스 레이저를 이용한 대기압 플라즈마 제트내 활성 입자 밀도 연구 | 한양대학 | 과학기술정보통신부 | 2.0 |
| 2022 | 저온 대기압 플라즈마 살균기와 IoT 기술을 이용한 코로나바이러스 등 감염병 예방시스템 구축 | (주)신영에어텍 | 중소벤처기업부 | 1.7 |
교수
| 교수 | 연구분야 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 김연상 | 무기 및 전기전자 소재 · 고분자 및 유기 소재 | 4 | 0 |
함께 나오는 키워드
산화물 박막트랜지스터 용액공정 산화물 반도체 산화알루미늄 게이트 절연막 바이어스 스트레스 안정성 IGZO 박막트랜지스터
연결되는 NTIS 분류
논문 (최신순)
| 연도 | 논문 | 학부 저자 | 피인용 |
|---|---|---|---|
| 2020 | Oxygen Radical Control via Atmospheric Pressure Plasma Treatment for Highly Stable IGZO Thin-Film Transistors 나노 화학공정기술 IEEE Transactions on Electron Devices | 김연상 | 28 |
| 2019 | Atmospheric-pressure plasma treatment toward high-quality solution-processed aluminum oxide gate dielectric films in thin-film transistors Nanotechnology | 김연상 | 13 |
| 2019 | Investigation of Vertical Current Phenomena in the Insulator/Oxide Semiconductor Heterojunction Using XPS Analysis and an Atmospheric-Pressure Plasma Treatment System ACS Applied Electronic Materials | 김연상 | 8 |
| 2018 | Effective Atmospheric-Pressure Plasma Treatment toward High-Performance Solution-Processed Oxide Thin-Film Transistors ACS Applied Materials & Interfaces | 김연상 | 47 |
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