두께 제어 thickness control
키워드 · 소재·나노·화학
3학부 논문
1교수
67억 국가 R&D(2015–24)
소규모증가율
0.00%서울대 비중
플라즈마 식각 등으로 2차원 소재 박편의 두께를 조절해 소자 특성을 최적화하는 기술이다.
연도별 학부 논문
국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)
2015–2024 과제 레코드 17건 · 10년 67억 · 2015–19 대비 2020–24 소규모 · 대학 수행 14.7% · 서울대(본교) 0.00%. 매칭: 영문 키워드 'thickness control', 국문 '두께제어', '두께조절'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.
매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 기계 > 로봇/자동화기계 54% · 에너지/자원 > 에너지저장(재분류) 20% · 전기/전자 > 반도체장비 15% · 전기/전자 > 전지 7%
최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)
| 연도 | 과제 | 수행기관 | 부처 | 억 |
|---|---|---|---|---|
| 2023 | 600mm급 대면적 FO-PLP 기판 가공을 위한 전자동 지능형 복합 연삭시스템 개발 | 에이엠테크놀로지(주) | 산업통상자원부 | 15.0 |
| 2024 | 극자외선 반사경의 반사막 코팅 장치 및 공정기술 개발 | (주)알파에이디티 | 산업통상자원부 | 5.5 |
| 2023 | 표면 개질된 이차원 MXene 기반의 상온작동 고 민감도 플렉서블 가스 검출소자 개발 | 고려대학 | 교육부 | 0.7 |
| 2022 | 소형 성형품 정밀 성형을 위한 실리콘 컴파운드 시트 제조공정 자동화 | 가교실리콘(주) | 중소벤처기업부 | 0.5 |
교수
| 교수 | 연구분야 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 김지현 | 공정시스템 | 3 | 0 |
함께 나오는 키워드
흑린 전계효과 트랜지스터(FET) 플라즈마 식각 자외선-오존 처리 베타 산화갈륨(β-Ga2O3) 기계적 박리
연결되는 NTIS 분류
없음
논문 (최신순)
| 연도 | 논문 | 학부 저자 | 피인용 |
|---|---|---|---|
| 2017 | Tuning the thickness of exfoliated quasi-two-dimensional β-Ga2O3 flakes by plasma etching Applied Physics Letters | 김지현 | 110 |
| 2016 | Tuning the thickness of black phosphorus via ion bombardment-free plasma etching for device performance improvement Journal of Materials Chemistry C | 김지현 | 50 |
| 2016 | In situ thickness control of black phosphorus field-effect transistors via ozone treatment Nano Research | 김지현 | 23 |
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교수 1
논문 3
In situ thickness control of black phosphorus field-effect transistors · Tuning the thickness of black phosphorus via ion bombardment-free plas · Tuning the thickness of exfoliated quasi-two-dimensional β-Ga2O3 flake