열처리(어닐링) thermal annealing
키워드 · 소재·나노·화학
6학부 논문 (이 키워드 3 + 하위 키워드)
2교수
248억 국가 R&D(2015–24)
신규증가율
0.81%서울대 비중
가열해 원자 배열을 재정렬시키는 처리로, 합금 나노입자의 조성·구조를 바꿔 촉매 활성을 높이는 데 쓰인다.
하위 키워드
이 키워드를 포함하는 더 구체적인 키워드. 위 논문 수·교수·연도별 그래프는 이들을 합친 값이다.
연도별 학부 논문
국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)
2015–2024 과제 레코드 121건 · 10년 248억 · 2015–19 대비 2020–24 신규 · 대학 수행 27.7% · 서울대(본교) 0.81%. 매칭: 영문 키워드 'thermal annealing', 국문 '후열처리', '어닐링'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.
매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 전기/전자 > 반도체장비 29% · 전기/전자 > 디스플레이 13% · 전기/전자 > 반도체 소자·회로 10% · 기계 > 나노/마이크로기계시스템 9%
최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)
| 연도 | 과제 | 수행기관 | 부처 | 억 |
|---|---|---|---|---|
| 2023 | 반도체 구조 결함 개선용 중수소 고압(30 bar) Annealing 장비 개발 | (주)예스티 | 산업통상자원부 | 13.0 |
| 2023 | 레이저 어닐링을 이용한 micro LED 내장형 및 산화물 반도체 액티브 매트릭스기판 제조기술개발 | (주)비아트론 | 산업통상자원부 | 12.6 |
| 2024 | 물류 최적화의 양자이득: 부산항 선석 운영 최적화를 위한 양자 소프트웨어 기술 개발 | 부산대학 | 과학기술정보통신부 | 7.5 |
| 2024 | 수소 라디칼을 포함하는 반도체 어닐링 공정 장비용 비정질 세라믹 소재의2배 이상 장수명화를 위한 표면개질 및 재활용 재생복원 기술 개발 | (주)원익큐엔씨 | 산업통상자원부 | 5.7 |
| 2023 | 반도체 열처리 공정(Thermal Process)을 위한 고에너지 자외선(UV : Ultra-Violet) 펄스 레이저(Pulse Laser) 및 광학계 개발 | 위아코퍼레이션(주) | 산업통상자원부 | 5.0 |
| 2024 | 수소 라디칼을 포함하는 반도체 어닐링 공정 장비용 석영유리 대비내수소 저항성이 2배 높은 다성분계 비정질 세라믹 소재 기술개발 | 디에스엠(주) | 산업통상자원부 | 4.2 |
| 2022 | 레이저 가열 어닐링 기반 순물질 및 화합물 반도체 국소 공동 자가 조립 기술 개발 및 응용 | 한국과학기술원 | 과학기술정보통신부 | 4.0 |
| 2022 | 비실리콘 기반 모놀리식 3차원 집적 플랫폼 기술개발 | 한국과학기술원 | 과학기술정보통신부 | 3.5 |
교수
| 교수 | 연구분야 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 성영은 | 무기 및 전기전자 소재 | 3 | 0 |
| 김지현 | 공정시스템 | 3 | 1 |
함께 나오는 키워드
산소 환원 반응(ORR) 백금 합금 촉매 백금-니켈 합금
연결되는 NTIS 분류
없음
논문 (최신순)
| 연도 | 논문 | 학부 저자 | 피인용 |
|---|---|---|---|
| 2025 | Phosphorus-ion implantation in two-dimensional WSe2 for hole doping Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films | 김지현 | 2 |
| 2019 | Electrical Properties of Thermally Annealed β-Ga2O3 Metal-Semiconductor Field-Effect Transistors with Pt/Au Schottky Contacts ECS Journal of Solid State Science and Technology | 김지현 | 8 |
| 2016 | Contacting Mechanically Exfoliated β-Ga2O3Nanobelts for (Opto)electronic Device Applications ECS Journal of Solid State Science and Technology | 김지현 | 29 |
| 2016 | Facile synthesis of platinum alloy electrocatalyst via aluminum reducing agent and the effect of post heat treatment for oxygen reduction reaction International Journal of Hydrogen Energy | 성영은 | 7 |
| 2015 | Effect of post heat-treatment of composition-controlled PdFe nanoparticles for oxygen reduction reaction Journal of Power Sources | 성영은 | 40 |
| 2014 | Origin of the Enhanced Electrocatalysis for Thermally Controlled Nanostructure of Bimetallic Nanoparticles The Journal of Physical Chemistry C | 성영은 | 29 |
인접 그래프
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교수 1
논문 3
Origin of the Enhanced Electrocatalysis for Thermally Controlled Nanos · Facile synthesis of platinum alloy electrocatalyst via aluminum reduci · Effect of post heat-treatment of composition-controlled PdFe nanoparti