Atomistic-to-reactor digital twin for silicon nitride atomic layer deposition via bidirectional kinetic Monte Carlo-computational fluid dynamics coupling

저자

Chaeeun Lee, Woojin Kang, Seongho Park, 이원보 (Won Bo Lee), Jonggeol Na

연구주제

Semiconductor materials and devices · Plasma Diagnostics and Applications

NTIS 과학기술표준분류

가장 가까운 분류(전기/전자 > 반도체장비 > 증착장비)가 화학·화공 범위 밖이다. 배정 근거: AI 키워드가 잡은 NTIS 과제의 분류.

AI 연구 키워드·방법

digital twin film thickness uniformity silicon nitride atomic layer deposition

전산유체역학(CFD) kinetic monte carlo

키워드 (OpenAlex)

silicon nitride atomic layer deposition film thickness uniformity digital twin kinetic Monte Carlo computational fluid dynamics dichlorosilane ammonia

초록

이 논문을 지원한 국가R&D 과제 (NTIS 성과)

NTIS 성과DB(2020–24)에서 DOI 매칭 없음