BEOL-compatible synthesis of multi-layer graphene by carbon ion implantation on cobalt thin films

저자

Janghyuk Kim, Janghyuk Kim, Hong-Yeol Kim, Dongryul Lee, Sungjoo An, 김지현 (Jihyun Kim), Jihyun Kim

연구주제

Graphene research and applications · 2D Materials and Applications

NTIS 과학기술표준분류

가장 가까운 분류(에너지/자원 > 온실가스 처리)가 화학·화공 범위 밖이다. 배정 근거: 지원 과제의 분류와 AI 키워드가 잡은 과제의 분류를 반씩.

AI 연구 키워드·방법

탄소 이온 주입 cobalt thin film 다층 그래핀 무전사 그래핀 성장

키워드 (OpenAlex)

multilayer graphene carbon ion implantation cobalt thin films graphene synthesis heat treatment graphene defects microelectronics integration

초록

이 논문을 지원한 국가R&D 과제 (NTIS 성과)

연도	과제	부처	사업	수행기관	NTIS 분류(1순위)
2020	상업용 실리콘 기반 wide bandgap 페로브스카이트 다중 접합 태양전지 요소 기술 개발	과학기술정보통신부	기후변화대응기술개발(R&D)	고려대학교	범위 밖
2020	PFC 가스 대체용 Fluoro-ether 및 Fluoro-alcohol 계열 Precursor를 이용한 식각공정 기술 개발	산업통상자원부	에너지수요관리핵심기술개발(에특)(R&D)	아주대학교산학협력단	범위 밖