포토리소그래피 photolithography
방법 · 공정·제작
4학부 논문
5교수
239억 국가 R&D(2015–24)
신규증가율
0.19%서울대 비중
빛과 감광막·마스크를 이용해 기판 위에 미세 패턴을 형성하는 반도체·소자 제작 공정이다.
연도별 학부 논문
국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)
2015–2024 과제 레코드 98건 · 10년 239억 · 2015–19 대비 2020–24 신규 · 대학 수행 47.4% · 서울대(본교) 0.19%. 매칭: 영문 키워드 'photolithography', 국문 '포토리소그래피', '광리소그래피'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.
매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 전기/전자 > 디스플레이 33% · 재료 > 고분자재료 29% · 화공 > 나노 화학공정기술 11% · 기계 > 나노/마이크로기계시스템 6%
최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)
| 연도 | 과제 | 수행기관 | 부처 | 억 |
|---|---|---|---|---|
| 2024 | 4,000ppi 이상의 마이크로 OLED 패널 제조를 위한 포토리소그래피 및 증착 공정 최소화 기술 개발 | (주)탑엔지니어링 | 산업통상자원부 | 13.8 |
| 2022 | 리소그래피(Lithography) 공정에 의한 OLED 화소 형성 기술 개발 | 인하대학 | 산업통상자원부 | 10.0 |
| 2024 | 초실감 자발광 양자점 디스플레이용 가교강화형 소재 및 크로스톡프리 화소 공정 기술 개발 | 서강대학 | 과학기술정보통신부 | 7.5 |
| 2024 | 고해상도 60GB/scan급 대용량 데이터실시간 패턴생성 및 왜곡오차 보상 시스템 개발 | (주)에스디에이 | 산업통상자원부 | 6.1 |
| 2023 | 고내구성 유기발광체 네트워크 소재 기반 초고해상도 OLED 마이크로디스플레이 개발 | 한양대학 | 과학기술정보통신부 | 5.8 |
| 2024 | 광변환효율 30% 이상의 친환경 양자점 색변환 박막소재 및 확장현실용 화소형성 공정 기술 개발 | 한인정밀화학(주) | 산업통상자원부 | 5.0 |
| 2023 | 양자점 기반 광발광 및 전계발광 디스플레이 응용을 위한 패터닝 공정 개발 | 한국과학기술원 | 과학기술정보통신부 | 3.5 |
| 2023 | 리간드 가교 가능한 패터닝 공정용 양자점 잉크소재 개발 | 서강대학 | 과학기술정보통신부 | 3.0 |
교수
| 교수 | 연구분야 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 오준학 | 무기 및 전기전자 소재 · 고분자 및 유기 소재 | 1 | 0 |
| 김대형 | 무기 및 전기전자 소재 | 1 | 0 |
| 이원보 | 공정시스템 · 고분자 및 유기 소재 | 1 | 0 |
| 김소연 | 고분자 및 유기 소재 | 1 | 0 |
| 김정욱 | 고분자 및 유기 소재 · 생물 및 환경 | 1 | 1 |
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논문 (최신순)
| 연도 | 논문 | 학부 저자 | 피인용 |
|---|---|---|---|
| 2022 | Nondestructive Photopatterning of Heavy‐Metal‐Free Quantum Dots 나노 화학공정기술 › 나노복합재 제조기술 Advanced Materials | 김정욱 | 88 |
| 2018 | Fabrication of gold nanowires in micropatterns using block copolymers 고분자 공정기술 › 고분자 박막/코팅 제조기술 RSC Advances | 김소연 | 12 |
| 2017 | High‐Resolution Spin‐on‐Patterning of Perovskite Thin Films for a Multiplexed Image Sensor Array Advanced Materials | 김대형, 이원보 | 204 |
| 2017 | Chemically Robust Ambipolar Organic Transistor Array Directly Patterned by Photolithography Advanced Materials | 오준학 | 87 |
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논문 4
Nondestructive Photopatterning of Heavy‐Metal‐Free Quantum Dots · Fabrication of gold nanowires in micropatterns using block copolymers · Chemically Robust Ambipolar Organic Transistor Array Directly Patterne · High‐Resolution Spin‐on‐Patterning of Perovskite Thin Films for a Mult