열처리 회복 thermal annealing recovery
키워드 · 정보·전자소자
3학부 논문
1교수
0억 국가 R&D(2015–24)
–증가율
–%서울대 비중
방사선·전기 스트레스로 손상된 반도체 소자를 가열해 결함을 줄이고 전기적 특성을 회복시키는 처리다.
연도별 학부 논문
국가 R&D 과제 동향
NTIS 과제명·키워드에서 대응하는 과제를 찾지 못했다.
교수
| 교수 | 연구분야 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 김지현 | 공정시스템 | 3 | 0 |
함께 나오는 키워드
AlGaN/GaN 고전자이동도 트랜지스터(HEMT) 양성자 조사
연결되는 NTIS 분류
없음
논문 (최신순)
| 연도 | 논문 | 학부 저자 | 피인용 |
|---|---|---|---|
| 2016 | Effects of proton irradiation and thermal annealing on off-state step-stressed AlGaN/GaN high electron mobility transistors Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena | 김지현 | 16 |
| 2015 | Recovery in dc and rf performance of off-state step-stressed AlGaN/GaN high electron mobility transistors with thermal annealing Applied Physics Letters | 김지현 | 4 |
| 2015 | Investigating the effect of thermal annealing on dc performance of off-state drain-voltage step-stressed AlGaN/GaN high electron mobility transistors Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena | 김지현 | 2 |
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교수 1
논문 3
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