나노입자 불순물 제거 nanoparticle impurity removal
키워드 · 공정·유체·시스템
3학부 논문
1교수
514억 국가 R&D(2015–24)
+263%증가율
8.65%서울대 비중
전기장·유전영동으로 극미량 나노입자를 응집·포집해 반도체용 초고순도 약품을 정제하는 기술이다.
연도별 학부 논문
국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)
2015–2024 과제 레코드 203건 · 10년 514억 · 2015–19 대비 2020–24 +263% · 대학 수행 24.2% · 서울대(본교) 8.65%. 매칭: 영문 키워드 'nanoparticle impurity removal', 국문 '초고순도', '나노입자제거', '유전영동'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.
매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 재료 > 소성가공/분말 20% · 전기/전자 > 반도체 소자·회로 14% · 재료 > 세라믹재료 7% · 물리학 > 원자/분자물리 7%
최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)
| 연도 | 과제 | 수행기관 | 부처 | 억 |
|---|---|---|---|---|
| 2023 | 북방자원 활용 반도체 원료용 4N5급 초고순도 고융점 몰리브덴 제련정련 기술개발 | 엘티메탈(주) | 산업통상자원부 | 17.8 |
| 2024 | 최선단 반도체 공정용 초고순도 프리커서 정제 기술 개발 | (주)한솔케미칼 | 산업통상자원부 | 12.4 |
| 2023 | 초고순도 불산 기반의 습식Etchant에 필요한 핵심소재기술 개발 | (주)이엔에프테크놀로지 | 산업통상자원부 | 8.9 |
| 2022 | 8, 10세대 OLED & 반도체 식각공정에서 배출되는 난분해성 CF4 가스를 처리하는 2000LPM급 스크러버와 이의 원격관리 플랫폼 개발 | 유니셈(주) | 산업통상자원부 | 7.0 |
| 2022 | 6N급 초고순도 합성 쿼츠 과립 분말 제조기술 개발 | (주)케이텍 | 산업통상자원부 | 6.6 |
| 2024 | 슈퍼 프리미엄급 등방흑연 제조를 위한 초고순도 중간원료 기술개발 | 한국화학연구원 | 산업통상자원부 | 6.4 |
| 2022 | 반도체 공정 재료 재생 (쿼츠웨어 재생 고순도 SiC 분말) | (주)케이텍 | 기획재정부 | 5.6 |
| 2024 | [정책지정과제] 수소연료전지용 초고순도 수소정제촉매제 및 수소연료전지 클리어필터 시제품 개발 | (주)퀀텀캣 | 산업통상자원부 | 5.0 |
교수
| 교수 | 연구분야 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 김지현 | 공정시스템 | 3 | 3 |
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