Improvement of electrical and optoelectronic properties of ZnO thin films by plasma nitridation treatment

저자

Minje Kim, Minje Kim, Jongsu Baek, Sunjae Kim, Sunjae Kim, Joonyup Bae, Byung Jin Cho, 김지현 (Jihyun Kim), Wan Sik Hwang

연구주제

ZnO doping and properties · Thin-Film Transistor Technologies · GaN-based semiconductor devices and materials

NTIS 과학기술표준분류

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AI 연구 키워드·방법

contact resistivity plasma nitridation sheet resistance 산화아연 박막

키워드 (OpenAlex)

ZnO thin films plasma nitridation nitrogen incorporation contact resistivity sheet resistance responsivity photo-to-dark current ratio optoelectronic properties

초록

이 논문을 지원한 국가R&D 과제 (NTIS 성과)

NTIS 성과DB(2020–24)에서 DOI 매칭 없음