스퍼터링 sputtering
방법 · 공정·제작
4학부 논문
2교수
844억 국가 R&D(2015–24)
+4%증가율
0.00%서울대 비중
플라즈마 이온으로 타깃을 때려 튀어나온 원자를 기판에 쌓아 박막이나 나노입자를 만드는 증착 공정이다.
연도별 학부 논문
국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)
2015–2024 과제 레코드 330건 · 10년 844억 · 2015–19 대비 2020–24 +4% · 대학 수행 11.0% · 서울대(본교) 0.00%. 매칭: 영문 키워드 'sputtering', 국문 '스퍼터링'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.
매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 전기/전자 > 디스플레이 40% · 재료 > 열/표면처리 14% · 전기/전자 > 반도체장비 9% · 전기/전자 > 전기전자부품 6%
최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)
| 연도 | 과제 | 수행기관 | 부처 | 억 |
|---|---|---|---|---|
| 2023 | 디스플레이용 고순도 Mo 및 Mo합금 스퍼터링 타겟 기술개발 | (주)이엠엘 | 산업통상자원부 | 12.2 |
| 2023 | 디스플레이용 고순도 Al과 Al 합금용 스퍼터 타겟 제조기술 개발 | (주)나이스엘엠에스 | 산업통상자원부 | 11.2 |
| 2022 | 대량의 미세분말 코팅을 위한 인라인 스퍼터링 및 원자층 증착 복합 코팅 장비 개발 | (주)아이작리서치 | 산업통상자원부 | 10.0 |
| 2023 | 8세대 이상급 대형 OLED 장비용 경량화 박막 증착 Transfer Module 개발 | 파인원(주) | 산업통상자원부 | 10.0 |
| 2023 | UHD 디스플레이용 16um 피치급 양면 COF 핵심소재 및 제조기술 개발 | (주)엡솔 | 산업통상자원부 | 9.8 |
| 2023 | 디스플레이용 LCD 8세대 OLED 6세대 및 반도체용 300 mm Ti 스퍼터링 타겟 제조를 위한 고품위 Ti 빌렛 및 타겟 제조기술 개발 | (주)지오엘리먼트 | 산업통상자원부 | 8.6 |
| 2023 | 글로벌 시장 진출을 위한 10종 컬러 금속질감 고경도 고광택 자동차 그릴 건식복합 표면처리기술 개발 | (주)셀코스 | 산업통상자원부 | 7.8 |
| 2022 | 고순도 이온화 클러스터 증착방식을 통한 배터리 전지필름 및 박막필름 제작기술 | (주)테토스 | 산업통상자원부 | 5.0 |
교수
| 교수 | 연구분야 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 성영은 | 무기 및 전기전자 소재 | 3 | 2 |
| 김도희 | 공정시스템 | 1 | 1 |
연결되는 NTIS 분류
없음
논문 (최신순)
| 연도 | 논문 | 학부 저자 | 피인용 |
|---|---|---|---|
| 2025 | Oxidation State Manipulation of NiO x for High Performance and Light‐Soaking Stability of Perovskite Solar Modules Small Methods | 성영은 | 2 |
| 2023 | Transducer-Aware Hydroxy-Rich-Surface Indium Oxide Gas Sensor for Low-Power and High-Sensitivity NO 2 Gas Sensing ACS Applied Materials & Interfaces | 김도희 | 48 |
| 2023 | Low-temperature rapid UV sintering of sputtered TiO 2 for flexible perovskite solar modules Journal of Materials Chemistry A | 성영은 | 27 |
| 2014 | Facile synthesis of carbon supported metal nanoparticles via sputtering onto a liquid substrate and their electrochemical application RSC Advances | 성영은 | 28 |
인접 그래프
노드 hover = 이웃 강조 · 1회 클릭 = 고정 · 고정된 노드 다시 클릭 = 페이지 이동
이 문서와 연결된 페이지
교수 1
논문 4
Facile synthesis of carbon supported metal nanoparticles via sputterin · Transducer-Aware Hydroxy-Rich-Surface Indium Oxide Gas Sensor for Low- · Low-temperature rapid UV sintering of sputtered TiO 2 for flexible per · Oxidation State Manipulation of NiO x for High Performance and Light‐S