물리 기상 증착(PVD) physical vapor deposition
방법 · 공정·제작
3학부 논문
3교수
529억 국가 R&D(2015–24)
+27%증가율
0.00%서울대 비중
증발·스퍼터링 등 물리적 방법으로 원료를 기화시켜 기판 위에 박막이나 나노입자를 형성하는 공정이다.
연도별 학부 논문
국가 R&D 과제 동향 (NTIS, 억 원)
2015–2024 과제 레코드 142건 · 10년 529억 · 2015–19 대비 2020–24 +27% · 대학 수행 8.2% · 서울대(본교) 0.00%. 매칭: 영문 키워드 'physical vapor deposition', 국문 '물리기상증착', 'PVD'. 기관운영비·인력양성·출연연 주요사업비 등 과제 아닌 레코드는 뺐다.
매칭 과제의 NTIS 표준분류(1순위, 연구비 비중): 전기/전자 > 반도체장비 31% · 재료 > 열/표면처리 18% · 에너지/자원 > 신재생에너지 15% · 재료 > 세라믹재료 6%
최근 주요 과제 (2022–2024, 연차 정부연구비 순)
| 연도 | 과제 | 수행기관 | 부처 | 억 |
|---|---|---|---|---|
| 2023 | 고출력 F Cl계 플라즈마 공정 대응 대형부품용 내플라즈마 세라믹 코팅 신소재 및 코팅공정기술 | (주)그린리소스 | 산업통상자원부 | 18.0 |
| 2023 | 고선택비 하드마스크용 지능형 물리기상증착 공정장비 기술개발 | (주)바코솔루션 | 산업통상자원부 | 13.8 |
| 2022 | PIM 반도체의 PCRAM 제조를 위한 EHU(Extreme High Unbalanced) magnetron을 포함한 초고진공 PVD 장비 기술 개발. | 에이피시스템(주) | 산업통상자원부 | 13.0 |
| 2023 | 글로벌 시장 진출을 위한 원심주조 공법 기반 차량용 19인치 이상급 고강성 경량 휠 제조 기술 개발 | 핸즈코퍼레이션(주) | 산업통상자원부 | 7.3 |
| 2023 | GE대응 Ni계 superalloy 볼트용 전조금형 국부 재생 기술 및 고내구성 수명향상 코팅기술 개발 | (주)화신볼트산업 | 산업통상자원부 | 4.3 |
| 2023 | 인공지능 기반 인공표면층을 갖는 Hard nanocomposite coating 기술 개발 | 세종대학 | 과학기술정보통신부 | 4.1 |
| 2024 | 골생성 유도를 위한 생체활성물질 함유 치과용임플란트 고정체 개발 | (주)케이제이메디텍 | 과학기술정보통신부 | 3.5 |
| 2023 | 내플라즈마 특성을 가지는 Y계 내플라즈마 소재의 대면적 PVD 코팅기술 개발 | (주)코미코 | 과학기술정보통신부 | 3.3 |
교수
| 교수 | 연구분야 | 논문 | 2022년 이후 |
|---|---|---|---|
| 류재윤 | 무기 및 전기전자 소재 · 고분자 및 유기 소재 | 1 | 0 |
| 성영은 | 무기 및 전기전자 소재 | 1 | 0 |
| 김소연 | 고분자 및 유기 소재 | 1 | 1 |
연결되는 NTIS 분류
논문 (최신순)
| 연도 | 논문 | 학부 저자 | 피인용 |
|---|---|---|---|
| 2025 | Greater Influence of Density on the Electrical Properties of an Organic Semiconductor Glass Compared to Molecular Orientation The Journal of Physical Chemistry B | 김소연 | 0 |
| 2018 | Synthesis and growth mechanism of carbon-supported nanoparticle catalysts by physical vapor deposition onto a liquid medium substrate 나노 화학공정기술 › 나노소재 합성기술 Applied Surface Science | 성영은 | 7 |
| 2015 | Green synthesis of carbon-supported nanoparticle catalysts by physical vapor deposition on soluble powder substrates 나노 화학공정기술 › 나노소재 합성기술 Scientific Reports | 류재윤 | 15 |
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